矽晶圓如何製造?

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將單晶矽晶棒以線切割分片,得到約1mm厚的晶圓。接著進行正反兩面的粗研磨,使其達到所需厚度。後續再經化學蝕刻、細研磨等程序,最後清洗並檢驗,即可完成矽晶圓的製造。

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矽晶圓的製造

在尖端的半導體產業中,矽晶圓扮演著不可或缺的角色,作為電子元件和積體電路的基礎。矽晶圓的製造過程繁複精細,需要嚴格的品質控管和最先進的技術。

晶棒分片

第一步是將單晶矽晶棒透過線切割技術切割成薄片,形成約1毫米厚的晶圓。這些晶圓會成為電子元件的基板。

粗研磨

接著,晶圓的正反兩面進行粗研磨,以達到所需的厚度。這道程序能去除表面不平整的部分,確保晶圓具有均勻的厚度。

化學蝕刻

為了形塑晶圓上的電路圖案,需要進行化學蝕刻。將晶圓浸泡在蝕刻液中,部分區域的矽會被溶解,形成預期的電路結構。

細研磨

化學蝕刻後,晶圓表面會留下微小的凹凸不平。為了確保電子元件的順利製作,需要進行細研磨,將表面進一步平整化。

清洗和檢驗

最後,晶圓會經過徹底清洗,去除任何殘留的化學物質或雜質。接著,進行嚴格的檢驗,確保晶圓符合規格要求,沒有瑕疵或缺陷。

經過這些精密的製造程序,矽晶圓便能作為電子元件和積體電路的完美基板,推動半導體產業的發展,並為現代科技奠定堅實的基礎。

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