台積製程要進無塵室嗎？

台積電製程，無塵室不可少

講到台積電，全球晶片代工龍頭，其製程之精細令人驚嘆。而這些製程，可不只是在一般實驗室裡頭隨便搞搞就能完成的，而是需要在一個「無塵室」這樣的高規格環境中進行。

什麼是無塵室？

顧名思義，無塵室就是一個空氣中粉塵含量極低、極為潔淨的空間。在無塵室裡，空氣中的粉塵顆粒濃度會被控制在一個非常低的水平，以確保製程環境的潔淨度。

為什麼無塵室這麼重要？

在積體電路（IC）的製造過程中，任何微小的粉塵顆粒都可能對晶片造成毀滅性的影響。這些粉塵顆粒可能會刮傷晶片表面，造成電路短路或開路，導致晶片報廢。

因此，為了避免這些不必要的損失，台積電在製程中採用了無塵室。透過嚴格控制空氣中的粉塵濃度，可以大幅降低晶片被汙染的風險，確保生產出的晶片品質穩定可靠。

無塵室的運作原理

無塵室的運作原理主要透過以下幾個方面：

• 氣流控制：無塵室內部會建立一個層流氣流場，讓空氣以單一方向流動，並過濾空氣中的粉塵顆粒。
• 過濾系統：空氣在進入無塵室之前，會經過多層高效空氣過濾器（HEPA）過濾，去除空氣中的粉塵顆粒。
• 人員管制：進入無塵室的人員必須穿著專門的防塵衣，並經過嚴格的除塵程序，以避免將粉塵帶入無塵室。
• 設備控管：無塵室內的設備和材料也需要經過嚴格的清潔和除塵處理，以避免產生粉塵汙染。

無塵室的等級

無塵室的等級是以每立方英尺空氣中允許的粉塵顆粒數量來區分。等級越高的無塵室，空氣中的粉塵濃度越低。

台積電的無塵室屬於最高等級的 Class 1 無塵室，每立方英尺空氣中允許的粉塵顆粒數量小於 1 個，可說是乾淨到一個不行的程度。

無塵室的應用

除了半導體產業之外，無塵室也在其他領域有著廣泛的應用，例如：

• 醫藥：無塵室用於生產無菌藥品、醫療器材等。
• 光學：無塵室用於製造精密光學元件，例如鏡頭、雷射器等。
• 航空：無塵室用於組裝和維修飛機等精密設備。
• 航太：無塵室用於生產和組裝衛星等太空設備。

結論

無塵室是半導體產業中不可或缺的重要環節，為晶片的製造提供了乾淨無暇的環境。透過嚴格的空氣品質控制和管理，無塵室確保了台積電晶片的品質和可靠性，讓台積電在全球晶片代工市場上持續領先群雄。