半導體製程設備有哪些？

欸，你知道做一顆小小的晶片，那個過程有多複雜嗎？我之前聽一個在台積電的朋友講，整個流程就像蓋房子一樣，一層一層慢慢蓋上去，超級搞剛的！需要用到一堆厲害的機器，不是隨便一台機器就可以的捏。

首先齁，最重要的就是那個…叫做…光刻機！對啦，就是光刻機！這個東西，就像蓋房子時的藍圖一樣，把電路的圖案印到晶圓上面。聽說這個東西貴到爆，一台可能要好幾億，有沒有很誇張？！我的天啊，都可以買好幾棟房子了吧？

然後呢，印完之後就要「刻」出來嘛！這時候就要用到蝕刻機啦。就像雕刻一樣，把不要的部分去掉，留下我們要的電路。我那個朋友說，蝕刻的精細度超級重要，差一點點都不行，不然整個晶片就報銷了，想到就覺得壓力好大喔…

再來就是CVD跟PVD，這兩個…嗯…我記得好像是…沉積薄膜的機器？有點像是油漆工，一層一層的塗上去，讓晶片的功能更完整。CVD是化學的，PVD是物理的，好像…差在…一個用化學反應，一個用…物理方式…讓材料附著上去吧？(搔頭) 老實說，我有點搞不太清楚，反正就是很重要就對了啦！

我朋友還說，除了這些之外，其實還有很多其他的設備，像什麼…量測設備、清洗設備等等，整個流程加起來，聽說有幾百個步驟！幾百個耶！你敢信？！真的是… 想到就頭昏眼花… 不過也因為這樣，台灣的半導體產業才能這麼厲害吧！ 你說是吧？

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